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離子基準真空計 IRG080 是專(zhuān)為在真空系統中**測量總壓而開(kāi)發(fā)的一款真空傳感器。IRG080 基于**的電離真空計概念(熱陰極發(fā)射電子以直線(xiàn)路徑進(jìn)入法拉第杯),適用于 10-8 mbar 至 10-4 mbar 范圍內的參考標準。
IRG080 具有的精度(低至 1%)、可預測的氣體靈敏度(極小的差值)、非常好的短期重復性和再現性。該儀器是計量和校準的理想解決方案。IRG080 由 IRC081 顯示和操作單元連接和控制。
優(yōu)勢
1,專(zhuān)為在高真空和超高真空范圍內要求高測量精度的應用而開(kāi)發(fā)
2,電極系統配置符合 ISO TS 6737 標準
3,相對氣體靈敏度可預測,不確定性小,可測量所有氣體種類(lèi)的真實(shí)壓力
4,電子發(fā)射穩定,不受 ESD 或 X 射線(xiàn)效應的影響
5,可重復,易于運輸
6,烘烤溫度可達 165 °C(帶耐溫電纜),不帶連接器單元時(shí)烘烤溫度可達 400 °C
7,可提供用于磁屏蔽的 Mu 金屬中間件
運營(yíng)單元
離子參考計控制器 IRC081
參考標準
氮氣精度低于 1
可預測的氣體靈敏度,誤差極?。?lt;1.5)
真正的總壓測量
非常佳的短期重復性(<1%)和再現性(<1)
測量原理
電子離開(kāi)陰極(左側),被陽(yáng)極加速到 200 eV,然后被離子收集器聚焦。電子路徑的長(cháng)度具有良好的特性,因此儀器的靈敏度是可以預測的。電子在陽(yáng)極柵內產(chǎn)生的離子被加速到收集器,并以電流形式測量。陽(yáng)極柵外產(chǎn)生的離子會(huì )被偏轉器捕獲。
一個(gè)完整的套餐
通過(guò)離子參考規控制器 IRC081 的操作和顯示界面
用戶(hù)可控制 IRG080 儀器參數
在 IRC081 用戶(hù)界面軟件 (LabVIEWTM) 中顯示設置和測量值
數據和參數記錄功能