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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
NFICON Edge 電容膜片式真空計是專(zhuān)為惡劣制造環(huán)境設計的極其準確的真空測量?jì)x表。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長(cháng)期提供出眾的量程穩定性，而且具有無(wú)可比擬的零位穩定性。
詳情介紹：
邊緣? CDG100D2 - 100°C - 內部熱，外部小
INFICON Edge 電容膜片式真空計是專(zhuān)為惡劣制造環(huán)境設計的極其準確的真空測量?jì)x表。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長(cháng)期提供出眾的量程穩定性，而且具有無(wú)可比擬的零位穩定性。Edge 隨附 INFICON 已獲磚利的獨特傳感器屏蔽，用于保護真空計，使其免受不需要的過(guò)程副產(chǎn)品的影響。先進(jìn)的電子元件能為所有應用提供范圍廣泛的可配置信號調節，另外還有 EtherCAT 現場(chǎng)總線(xiàn)接口可供選擇。創(chuàng ) 新的加熱概念能夠使接觸表面保持低溫，并節約寶貴的工具空間。INFICON Edge 是同類(lèi)產(chǎn)品中*小的真空測量?jì)x器。
好處
1，緊湊型，節省寶貴的工具空間
2，易于集成，各種滿(mǎn)刻度、法蘭，標配兩個(gè)設定點(diǎn)
3，輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令，可調零點(diǎn)偏移
4，診斷端口便于快速服務(wù)與維護
5，兩年保修服務(wù)，先進(jìn)的加熱概念和真空計保護延長(cháng)了使用壽命
6，超卓的信號穩定性和可重復性，即使是*嚴苛的等離子應用，都無(wú)需長(cháng)期執行重新校準
7，合規和標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型應用
1，CVD、蝕刻、PVD 及其他半導體生產(chǎn)過(guò)程
