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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
INFICON SKY CDG025D 電容式隔膜真空計系列的高精度、溫度補償型壓力計，可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩定的性能。**數字電子元件可提高儀表性能, 且易操作, 例如一鍵歸零功能和設定點(diǎn)調整。
詳情介紹：
INFICON SKY CDG025D 電容式隔膜真空計系列的高精度、溫度補償型壓力計，可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩定的性能。**數字電子元件可提高儀表性能, 且易操作, 例如一鍵歸零功能和設定點(diǎn)調整。防腐蝕超純陶瓷傳感器提供優(yōu)異的零位穩定性（包括氣壓突變的情況），預期使用壽命長(cháng)達數百萬(wàn)次壓力循環(huán)。獨有的傳感器屏蔽（磚利申請中）可防止儀表被過(guò)程污染。堅固的機械設計和數字電子元件可以改進(jìn)電磁兼容性 (EMC)、長(cháng)期穩定性和溫度補償。CDG025D 為開(kāi)機后快速穩定以及從氣壓中快速恢復的功能樹(shù)立了新的標準。
好處
1，從 100 mTorr 至 1000 Torr 的滿(mǎn)刻度量程
2，電源接通后快速穩定
3，暴露于大氣壓后快速恢復
4，防腐蝕陶瓷傳感器
5，超卓的長(cháng)期信號穩定性
6，溫度補償
7，傳感器受雙重防污染保護
8，一鍵調零功能
9，寬范圍電源
10，2個(gè)設定點(diǎn)
11，RS232 接口
12，無(wú)塵室合規
典型應用
1，用于蝕刻、CVD、PVD 和 ALD 的半導體制造設備
2，數據存儲和顯示器制造設備
3，工業(yè)真空設備
4，經(jīng)濟、高度精準的壓力測量
