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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
SKY CDG100D壓力計是實(shí)現精準總壓測量與控制的理想之選。CDG100D真空計溫度控制在100 °C，具有超卓的性能，適用于苛刻的半導體和等離子過(guò)程。
詳情介紹：
SKY® CDG100D 0.1 ... 1000 托/毫巴
另有160度，200度可選：
SKY® CDG160D 1 ... 1000 托 / 毫巴
SKY® CDG160D 1 ... 1000 托 / 毫巴
INFICON SKY CDG100D 壓力計是實(shí)現精準總壓測量與控制的理想之選。CDG100D真空計溫度控制在 100 °C，具有超卓的性能，適用于苛刻的半導體和等離子過(guò)程。在 100 毫托至1000 托滿(mǎn)刻度范圍內均可使用，帶有所有常用類(lèi)型的法蘭和現場(chǎng)總線(xiàn)接口，能夠提供 0 至 10V、不受氣體類(lèi)型限制的線(xiàn)性壓力信號。 INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。 陶瓷傳感器具有信號穩定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時(shí)間短和使用壽命長(cháng)等諸多優(yōu)勢。 INFICON CDG 品質(zhì)超卓，非常具有成本效益，適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。
益處
- 擁有成本更低，預熱速度快 50%，節能，低功耗
- 易于集成，各種滿(mǎn)刻度、法蘭和接口，標配兩個(gè)設定點(diǎn)
- 輕松一鍵調零或遠程信號調零指令，可調零點(diǎn)偏移
- 診斷端口用于快速維修和維護
- 兩年保修服務(wù)，先進(jìn)的加熱概念和真空計保護延長(cháng)了使用壽命
- 超卓的信號穩定性和可重復性，即使是苛刻的等離子應用，都無(wú)需長(cháng)期執行重新校準
- 合規性與標準： CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型應用
- 用于刻蝕、CVD、PVD 和其他半導體制造過(guò)程
- 化學(xué)和腐蝕性高溫過(guò)程
- 需要真空計保護的一般薄膜和真空過(guò)程
新聞
配備 EtherCAT 數字接口現在可用！
