SKY® CDG045D 0.05 ...1000Torr / mbar

INFICON SKY CDG045D 壓力計是實(shí)現高精準總壓測量與控制的理想之選。CDG045D 真空計溫度控制在 45 °C，具有超卓的信號穩定性和可重復性。在 50 mTorr 至 1000 Torr 滿(mǎn)刻度范圍內均可使用，帶有所有常用類(lèi)型的法蘭和現場(chǎng)總線(xiàn)接口，能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類(lèi)型限制的線(xiàn)性壓力信號。INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩定性非常佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時(shí)間短和使用壽命長(cháng)等諸多優(yōu)勢。INFICON CDG 壓力傳感器品質(zhì)超卓，非常具有成本效益，適用于苛刻的真空應用。

益處

• 擁有成本更低，預熱速度快 50%，節能，低功耗
• 易于集成，各種滿(mǎn)刻度、法蘭和接口，標配兩個(gè)設定點(diǎn)
• 輕松一鍵歸零或遠程信號歸零指令，可調零點(diǎn)偏移
• 診斷端口便于快速服務(wù)與維護
• 兩年保修服務(wù)，先進(jìn)的加熱概念和真空計保護延長(cháng)了使用壽命
• 超卓的信號穩定性和可重復性，即使是非常嚴苛的等離子應用，都無(wú)需長(cháng)期執行重新校準
• 合規性和標準：CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型應用

• 蝕刻、CVD、PVD 及其他半導體生產(chǎn)過(guò)程
• 化學(xué)和腐蝕性真空過(guò)程
• 一般薄膜和真空過(guò)程
• 作為基準儀器監控測試儀器是否符合國際標準
• 符合傳遞標準，確保測量可追溯性

新聞

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